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材料类别 | 企业 | 国产化进程 |
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光刻胶 | 晶瑞股份 | 19年9月建成第一了ArF,年底量产 |
南大光电 | 拟投资开发高端集成电路制造用各种先进光刻胶材料以及配套原材料和底部抗反射层等高纯配套材料,建立配套完整的国产光刻胶产业链 | |
北京科华 | KrF(248nm)光刻胶目前已经通过中芯国际认证,ArF(193nm)光刻胶正在积极研发中 | |
强力新村 | KrF光刻胶用光酸、光酸中间体以及聚合物用单体的生产及销售 | |
永太科技 | CF光刻胶以及通过华星光电验证(面板) | |
苏州瑞红 | KrF进入中试阶段,未实现量产 | |
飞凯材料 | 在高端的湿膜光刻胶领域通过下游厂商验证 | |
上海新阳 | 248nm 光刻胶配套的光刻机已完成厂内安装开始调试,193nm 光刻胶配套的光刻机也已到 货,从实验室研发转向产业研发 | |
电子特气 | 雅克科技 | 加大了前驱体研发力度 |
苏州金宏 | TEOS研发确定重点进展,即将投放市场 | |
华特气体 | 打破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、Kr/F/Ne 混合气等产品进口制约 | |
巨化股份 | 巨化股份 | |
凯美特气 | 二氧化碳、氢气 | |
博纯股份 | 氧硫化碳研发成功 | |
华特气体 | 我国唯一ASML 公司认证的气体公司,率先实现了近20个产品的进口替代 | |
绿菱电子 | 加大了新含钨制剂的研制 | |
中船718所 | 加大了新含钨制剂的研制 | |
中昊光明院 | 三氟化硼、高纯氧、高纯氩 | |
南大光电 | 全椒南大光电生产的高纯磷烷、砷烷纯度达6N级别 | |
CMP抛光液、抛光垫 | 安集科技 | TSV抛光液在国际和国内均在领先水平,在14nm节点上实现小规模量产 |
江丰电子 | 联合美国嘉柏微电子材料股份有限公司,就抛光垫项目进行合作 | |
鼎龙股份 | 完善了自身的CMP抛光垫型号,从成熟制程到先进制程完成全覆盖 | |
溅射靶材 | 江丰电子 | 突破半导体7nm技术节点用Al、Ti、Ta、Cu系列靶材核心技术并实现量产应用 |
有研新材 | 推进实现纳米逻辑器件和存储器件制备用贵金属及其合金相关靶材的开发与使用 | |
阿石创 | PVD镀膜材料领先企业,主营溅射靶材和蒸镀材料两类 | |
江西睿宁 | 22纳米以下硅基及有色金属基PVD芯片薄膜电子材料生产 | |
湿电子化学品 | 江化微 | 年产8万吨的超高纯湿电子化学品生产基地已达到国际规模水平 |
江阴润玛 | 8-12寸半导体制造过程中的清洗和刻蚀工艺 | |
湖北兴福 | 电子级磷酸顺利通过了中芯国际12英寸28nm先进制程工艺的验证测试 | |
多氟多 | 电子级氢氟酸稳定批量出口韩国高端半导体制造企业 | |
巨化股份 | 高纯度氟化氢 | |
光华科技 | 超净高纯试剂 | |
晶瑞股份 | 年产9万吨/年的电子级硫酸项目 |
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