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含氟电子特气
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周祺 等 2 人
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周祺·头豹分析师
陈祖杰·共创作者
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行业定义
电子特种气体,简称电子特气,是特种气体的一个重要分支。电子特种气体是指用于半导体、显示面板、光伏及其他电子产品生产的特种气体,广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂等工艺。含氟电子特气则是指含有氟元素的电子特气,主要包括氟化氢、四氟甲烷、六氟乙烷等。由于这些气体具有高纯度、高可靠性、高稳定性等特点,因此被广泛应用于高科技产业中,如集成电路、太阳能电池等领域,并且能够在半导体制造过程中,主要起到保护、刻蚀、钝化等作用。
AI访谈
行业分类
在目前全球电子气体市场中,含氟特气占总量的30%。在半导体领域中,根据不同用途,含氟电子特气可分为含氟清洗气体、含氟蚀刻气体。
AI访谈
行业特征
含氟电子特气行业规模行业特征有以下几点:市场呈现海外企业寡头垄断局面,中国市场内部竞争激烈。含氟电子特气行业技术门槛高;资金投入大,投资回收期时间长。
AI访谈
发展历程

含氟电子特气行业

目前已达到 4个阶段
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产业链分析
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行业规模
含氟电子特气行业规模
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政策梳理
含氟电子特气行业
相关政策 5篇
AI访谈
竞争格局
目前全球含氟电子特气市场呈现垄断格局。2022年,国际四大气体巨头:德国林德集团、法国液化空气、美国空气化工、日本大阳日酸占据全球特气市场近91%的份额和85%的中国电子特气市场份额。虽然中国电子特气行业起步较晚,与海外企业存在较大技术差距,但从细分市场来看,中国部分特气产品已实现弯道超车。中国电子特气企业大体上可分为三个梯队,第一梯队包括美国空气化工、林德等海外龙头企业,这些企业凭借雄厚的资金实力、强大的品牌效应、先进的技术手段和成熟的管理运营经验快速扩张,在管道气等现场制气市场尤其是大型高端现场制气项目中占有较大的优势。第二梯队包括南大光电、华特气体等中国上市公司,这些企业有一定技术优势和规模,在中国市场表现较好,具有一定的市场份额和品牌影响力。第三梯队包括凯美特气、正帆科技等一些规模较小、技术水平相对较低的企业,这些企业的产品或运营可能存在一定的问题,如纯度不够、知名度不高等情况,因此市场份额也相对较小。
AI访谈数据图表
摘要
电子特种气体(简称“电子特气”)是指用于半导体、平板显示及其他电子产品生产的特种气体。电子特气主要品种繁多,达上百种,被广泛应用于芯片制造过程的各个工艺流程中。其中含氟电子特气主要用于平板显示、光伏新能源和集成电路领域。目前全球电子特气市场中含氟系列品种占其总量的30%,含氟电子特气主要用作清洗剂、蚀刻剂,也可用于掺杂剂、成膜材料等。含氟电子特种气体行业未来发展前景良好,将会取得更加广阔的发展空间和机遇,并对相关产业产生深远的推动作用。
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含氟电子特气是指在化学反应中具有高度活性的氟化合物,通常用于半导体、液晶显示器、太阳能电池等电子行业的制造过程中。其主要作用是在制造过程中去除杂质和污染物,提高产品的纯度和品质。 在电子特气行业中,含氟电子特气的定义有多种,其中最常用的包括以下几种: 1. 氟化物:指含有氟元素的化合物,如氟化氢、氟化铵等。这些化合物具有强烈的腐蚀性和毒性,需要在制造过程中严格控制使用量和处理方法。 2. 氟化气体:指含有氟元素的气体,如氟气、六氟化硫等。这些气体具有高度活性和易燃性,需要在制造过程中采取严格的安全措施。 3. 氟聚合物:指由氟元素组成的高分子化合物,如聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯等。这些化合物具有优异的耐腐蚀性和耐高温性能,在电子行业中广泛应用。 以上三种定义之间的区别和差异在于其化学性质和应用范围的不同。氟化物和氟化气体具有强烈的腐蚀性和毒性,需要在制造过程中严格控制使用量和处理方法;而氟聚合物则具有优异的耐腐蚀性和耐高温性能,在电子行业中广泛应用。因此,在使用含氟电子特气时,需要根据具体的制造需求和安全要求选择合适的定义和使用方法。
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电子特种气体,简称电子特气,是特种气体的一个重要分支。电子特种气体是指用于半导体、显示面板、光伏及其他电子产品生产的特种气体,广泛应用于薄膜、蚀刻、掺杂等工艺。含氟电子特气则是指含有氟元素的电子特气,主要包括氟化氢、四氟甲烷、六氟乙烷等。由于这些气体具有高纯度、高可靠性、高稳定性等特点,因此被广泛应用于高科技产业中,如集成电路、太阳能电池等领域,并且能够在半导体制造过程中,主要起到保护、刻蚀、钝化等作用。
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1:http://www.peric.ac.cn/newsdetail.php?id=193
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2:爱学术,中船718
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含氟电子特气行业可以根据其产品的应用领域和性质进行分类。其中,最主流的分类标准是根据产品的应用领域进行分类,主要分为以下三类: 1. 半导体材料类 半导体材料类是含氟电子特气行业中最重要的一个分类。这类产品主要应用于半导体制造过程中的清洗、刻蚀、沉积等工艺中。典型的产品包括氟化氢、氟化铵、氟化钾等。这些产品具有高纯度、高稳定性、低残留等特点,能够满足半导体制造过程中对材料纯度和工艺控制的要求。 2. 表面处理类 表面处理类产品主要应用于金属表面的清洗、脱脂、除锈等工艺中。典型的产品包括氟化钠、氟化铝、氟化镁等。这些产品具有强腐蚀性和强氧化性,能够有效地去除金属表面的污垢和氧化物,提高金属表面的附着力和耐腐蚀性。 3. 医药化学类 医药化学类产品主要应用于医药制造过程中的合成、分离、纯化等工艺中。典型的产品包括氟化苯、氟化乙酰、氟化异丙酰等。这些产品具有高纯度、高稳定性、低毒性等特点,能够满足医药制造过程中对材料纯度和安全性的要求。 以上三类产品在应用领域和性质上存在明显的差异。半导体材料类产品具有高纯度、高稳定性、低残留等特点,适用于半导体制造过程中对材料纯度和工艺控制的要求;表面处理类产品具有强腐蚀性和强氧化性,适用于金属表面的清洗、脱脂、除锈等工艺;医药化学类产品具有高纯度、高稳定性、低毒性等特点,适用于医药制造过程中对材料纯度和安全性的要求。 总之,含氟电子特气行业的分类标准主要是根据产品的应用领域和性质进行分类。不同类别的产品在应用领域和性质上存在明显的差异,需要根据具体需求进行选择和使用。
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在目前全球电子气体市场中,含氟特气占总量的30%。在半导体领域中,根据不同用途,含氟电子特气可分为含氟清洗气体、含氟蚀刻气体。
根据在半导体领域中的作用不同分类
含氟电子特气分类
含氟清洗气体
半导体清洗工艺主要是去除硅片上的粒子和金属污染物、有机物、在蚀刻、布线工序中抗蚀剂去胶、去除化合物,以及CMP(化学机械抛光)后的清洗。由于集成电路内各元件及连线相当微细,在元件制作过程中,如果遭到尘粒、金属的污染,很容易造成晶片内电路功能的损坏,形成短路或断路等,导致集成电路的失效以及影响几何特征的形成。因此在制作过程中除要排除外界污染源外,集成电路制作步骤如高温扩散、离子注入前等均需要进行清洗工作。 含氟清洗剂在半导体和电子工业清洗尤其是干法清洗中表现出很好的性能。含氟清洗剂沸点较低,常温下以气相存在,因此很容易进行干法气相清洗。传统含氟清洗气体主要包括四氟化碳、六氟乙烷等。随着环境要求的不断提高,代表性的新一代的更加清洁、高效的含氟清洗气体是二氟亚甲氧,其他如氟气、三氟化氯等。
含氟蚀刻气体
含氟蚀刻气体被广泛用于半导体工艺,如薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积和扩散。蚀刻方法包括湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。由于其蚀刻方向性强、工艺控制准确、方便、无解毒、无衬底损伤和杂质,干法蚀刻越来越多地被使用。蚀刻是对基板上未被光刻胶掩模的加工表面进行蚀刻的过程,如氧化硅膜、金属膜等,以获得被光刻胶掩模的区域,从而在基板表面上获得所需的成像图案。蚀刻的基本要求是图案边缘干净,线条清晰,图案变换差异小,光刻胶膜及其掩模保护表面没有损伤和钻孔侵蚀。含氟蚀刻剂品种主要包括四氟甲烷、三氟甲烷、二氟甲烷、六氟乙烷、八氟环丁烷、六氟丁二烯等。
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5:爱学术,昊华科技,福建德尔科技,金宏气体
爱学术,昊华科技,福建德尔科技,金宏气体
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中国含氟电子特气行业是一个具有广阔发展前景的行业,其商业模式、竞争环境和用户画像等维度对于行业的发展具有重要影响。 商业模式 含氟电子特气行业的商业模式主要是以生产和销售含氟电子特气为主。该行业的主要客户包括半导体、光电子、液晶显示、太阳能电池等领域。行业内企业主要通过技术创新、产品质量和服务水平等方面来提高市场竞争力。 竞争环境 含氟电子特气行业的竞争环境主要是由国内外企业共同构成。国内企业主要集中在江苏、浙江、上海等地,其中以江苏为主要生产基地。国外企业主要来自美国、日本、韩国等国家。行业内企业之间的竞争主要体现在产品质量、价格、服务等方面。 用户画像 含氟电子特气的主要用户包括半导体、光电子、液晶显示、太阳能电池等领域。这些领域的用户对含氟电子特气的要求主要是高纯度、高品质、稳定性好等方面。同时,随着新能源、新材料等领域的快速发展,含氟电子特气的应用范围也在不断扩大。 利润成本 含氟电子特气行业的利润成本主要受到原材料价格、生产成本、销售价格等因素的影响。行业内企业主要通过技术创新、生产效率提高等方式来降低成本,提高利润。 行业周期 含氟电子特气行业的周期性较强,主要受到宏观经济环境、市场需求等因素的影响。随着新能源、新材料等领域的快速发展,含氟电子特气的市场需求也在不断增加,行业的发展前景较为乐观。 供给需求 含氟电子特气行业的供给主要受到生产能力、技术水平等因素的影响。随着新能源、新材料等领域的快速发展,含氟电子特气的市场需求也在不断增加,行业内企业需要不断提高生产能力和技术水平来满足市场需求。 准入门槛 含氟电子特气行业的准入门槛较高,主要受到技术、资金、人才等方面的限制。行业内企业需要具备一定的技术实力和资金实力,同时需要拥有一定的人才储备才能进入该行业。 发展前景 随着新能源、新材料等领域的快速发展,含氟电子特气的市场需求也在不断增加,行业的发展前景较为乐观。同时,随着技术的不断进步和生产效率的提高,含氟电子特气的生产成本也将逐渐降低,行业的利润空间也将进一步扩大。 数据来源:根据公开数据和行业报告整理分析得
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含氟电子特气行业规模行业特征有以下几点:市场呈现海外企业寡头垄断局面,中国市场内部竞争激烈。含氟电子特气行业技术门槛高;资金投入大,投资回收期时间长。
1
海外企业寡头垄断,市场竞争激烈
海外企业呈现寡头垄断局面,中国市场内部竞争激烈。
在国外,头部气体企业有着很长的发展历史,其大部分从大宗气体的生产和设备的制造开始的,其在大宗工业气体的领域中,基本上已经形成一个寡头垄断的格局。因为其有雄厚的资金实力和强大的研发能力,所以其所拓展的电子专用气的种类也比较全面,规模较大,气体纯度高。海外著名的气体生产企业有林德集团、液化空气、空气化工、大阳日酸,在电子特气领域有较强竞争力的海外企业有SK Materials(三氟化氮、六氟化钨主要供应商)、日本关东电气(提供三氟化氮、四氟化碳、六氟乙烷等含氟特气)、昭和电工(高纯四氟甲烷、三氟甲烷、六氟乙烷、三氯化硼等)等,前四大企业(林德、液化空气、空气化工、大阳日酸)占据全球电子气体70%以上市场份额。中国特种气体行业起步较晚(综合全球各类气体公司的历史,相对于国外的气体公司都要晚于50-100年),技术力量薄弱,产品结构和综合服务能力还不够强,经过数十年的发展,中国特种气体的研发已经取得一些成果,但是无论是产品性能还是生产规模,都与国外领先的气体公司存在着较大的差距,到2020年,海外的气体公司仍然占有超过80%的份额,电子特种气体的国产替代之路还很漫长
2
技术门槛高
下游产品对电子特气的要求高,考验中上游企业的技术能力。
电子特种气体,尤其是在半导体领域,对纯度有很高的要求,通常需要纯度达到5N、6N甚至更高。所以在其制备过程中,除合成外,还需要提纯;另外,混合(组分)、气瓶处理(储存、运输)、分析测试等过程,都会影响到最终产品的精确性和纯度,这些都是特种气制造过程中不容忽视的一个关键步骤。目前,中国领先的电子特气制造商所拥有的产品纯度主要集中在5N,一些企业可以在7N级的高纯大宗气体中进行生产,但是6N及以上的电子特气仍然是主要依靠进口;中国生产厂家在配气误差、研磨光洁度、腐蚀性气体量值变化以及气体的检测精度上都取得很大的进步,但是还有进一步的改进的余地。随着集成电路制程技术的持续迭代,从大规模到超大规模,再到极大规模,晶圆尺寸从4寸、6寸、8寸向12寸、14寸突破,芯片线宽从28nm、14nm向7nm甚至5nm突破,高端芯片对于特殊气体的纯度也在持续提高,特殊气体的纯度每提高一个N级,粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级,都会导致工艺复杂度的明显提高。在混合气比例上,由于产物成分的增多和配制精度的提高,使其配制的难度和复杂性明显增加。
3
资金投入大,投资回收期久
项目投建金额超亿元,投资回收期长达5-6年。
通过对中国上市的气体公司新增的特气项目的资本开支和生产周期进行梳理,可以看出,电子特气项目的投资金额大、投资回收期长,项目平均生产周期为2-3年,拟投入金额基本都超过亿元,平均投资回收期为5-6年。然而,随着半导体行业的国产替代,下游产能的持续扩张,对中国电子特种气体的需求越来越大,且特种气体在高壁垒条件下具有高利润率和高收益的特性,所以,中国的特种气体公司都在积极地通过定增和发行可转换债券来扩充电子特种气体的产能和种类。在这些公司中,华特气体,凯美特气,金宏气体,南大光电,和远气体,昊华科技等公司都在新建的特种气体项目上投资超过十亿元的资金,使其资本支出比率达到一个很高的水平。
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行业定义
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行业分类
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行业特征
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发展历程
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产业链分析
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行业规模
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政策梳理
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竞争格局
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