导言：
目前全球半导体产业正处于迭代升级的关键时期，新技术、新领域不断加速拓展，同时，由于中美贸易战使得中国半导体设备与原材料进口受影响，在如此背景下，紧跟全球半导体发展步伐，加强半导体领域自主研发是保持中国半导体行业持续发展的必然趋势。
半导体前道量测设备定义与分类
半导体前道量测设备属于半导体设备中的一种，而半导体设备属于电子测量仪器中的种类，电子测量仪器种类众多，按照使用领域的不同可分为通用仪器和专用仪器。专用仪器以某一个或几个专用功能为目的，设计制造难度极高，应用领域较小，但在某些细分领域不可或缺，如光纤测试仪器、电磁兼容EMC 测试设备等，半导体测试设备就属于专用电子测量仪器。而通用电子测量仪器是现代工业的基础设备，也是电子工业发展和国家战略性、基础性重要产业之一，应用场景广泛且需求量大。
半导体设备主要指在芯片制造流程中应用到的设备，广义上也包括生产半导体原材料所需的机器设备。一块芯片的诞生需经历芯片设计、芯片制造、芯片封装测试三大环节，除设计环节外，每一环节都需用到大量的专用设备。因此，按芯片制造流程来分，半导体设备可对应分为晶圆制造设备、测试设备、封装设备与其他设备四类，其中晶圆制造设备为核心设备，晶圆制造设备投资额占半导体设备投资总额超80%；封装设备指将晶圆裸片装配为芯片过程中所使用到的设备；测试设备指晶圆加工后的封测环节用于分析测试芯片数据，用于改进涉及生产工艺的相关设备；其他设备指在晶圆制造过程中会用到的辅助型设备，例如导片机、存储设备等，整体占比较小。
主要半导体设备投资占比（按投资额），全球，2020年
数据来源：沙利文分析
晶圆制造设备：指在硅片上加工制作各种电路元件结构，使之最终形成具有特定电性功能所用到的设备，主要包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉淀设备、检测检测设备等。
封装设备：指将晶圆裸片装配为芯片过程中所使用到的设备，包括晶圆减薄机、切割机、黏片机、引线键合机等设备。
测试设备：指在晶圆制造流程完成后，对晶圆的质量、性能进行量测检测的设备，主要包括厚度仪、颗粒检测仪、硅片分选仪以及ATE等设备。
其他设备：晶圆制造过程中的辅助设备，例如硅片导片机、抛光片以及存储设备等。
半导体设备总体市场规模
得益于国内晶圆厂扩产潮短期内迅速拉动市场对半导体设备的需求，2020年中国半导体设备市场规模达到超1000亿元人民币，较2019年同比增长近40%，处于历史较高水平。在晶圆厂短期内集中扩产过后，2021年中国半导体设备市场规模增速较2020年将有所回落， 2021到2025年间中国半导体设备市场规模将保持较为平缓的增速，预计2025年市场规模达到超2000亿元人民币。
半导体设备市场规模（按销售额计），中国，2016-2025E
数据来源：沙利文分析
半导体前道量测设备定义与分类
在晶圆制造过程中用到的检测设备就是前道量测设备，用于在不同的工序后对晶圆产品进行尺寸测量、缺陷检测等，以检查制造工序后晶圆产品的加工参数是否达到设计的要求用到的设备。前道量测设备还可以分为量测类设备与缺陷检测设备两种：量测类设备是检查每一步制造工艺后晶圆产品的加工参数是否达到设计的要求，缺陷检测设备是检查晶圆产品是否存在影响良率的缺陷。 设 主要生产设备
应用环节
中国半导体前道量测设备市场产业链分析
半导体前道量测设备市场产业链包括上游的继电器及PCB电路板等非标准化零部件制造商；中游为前道量测设备制造商，中国前道量测市场较为集中，以KLA科磊占据主要市场地位；下游为晶圆代工厂。
半导体前道量测设备产业链上游为继电器及PCB电路板等非标准化零部件制造：继电器是一种电控制器件，通常应用于自动化的控制电路中，是用小电流去控制大电流的一种“自动开关”。在电路中起着自动调节、安全保护、转换电路等作用。按工作原理，继电器可分为电磁式继电器、感应式继电器、热继电器等。
2020年全球继电器市场空间约450亿元人民币，同比增长约5%，中国继电器市场规模近300亿元人民币，同比增长7%，中国继电器市场规模占据了全球的60%左右。
PCB电路板广泛应用于通信设备、网络设备、计算机服务器、消费电子、工控医疗、汽车、航空航天等领域。覆铜板是印刷电路板（PCB）的核心材料，承担着PCB的导电、绝缘、支撑三大功能，较大程度上决定了PCB电路板的性能。
半导体前道量测设备产业链中游为前道量测设备厂商：中国前道量测设备市场集中度较高且被海外公司垄断，进口设备厂商包括KLA科磊、应用材料、日立等；前道量测设备国产化率不足2%，国内代表企业为上海精测、中科飞测、上海睿励。
半导体前道量测设备产业链下游主要为晶圆代工厂：除2019年受智能手机出货量下降影响，晶圆代工厂销售量额小幅下降外，2016到2020年全球晶圆代工厂总销售额整体呈逐年增长趋势。2020年全球晶圆代工厂总销售额较2019年同比增长约20%，达到超800亿美元。目前台积电以领先的制程工艺及产能处于全球绝对领先的地位，三星与格罗方德分别居于第二、三位。
