作为特种气体的一个重要分支，广泛应用于半导体、光伏电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气等。

按化学成分可分为硅系、砷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。是发展集成电路、光电子、微电子、超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造过程中不可缺少的基础性支撑源材料。