Capacitively Coupled Plasma，是通过匹配器和隔直电容把射频电压加到两块平行平板电极上进行放电而生成的，两个电极和等离子体构成一个等效电容器。

Inductively Coupled Plasma产生电流作为能量来源的等离子体源，一种通过随时间变化的磁场电磁感应。

采用直流空气等离子体作为点火源，实现锅炉的冷态启动不用一滴油的无油点火的燃烧技术。

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition（PECVD），在化学气相沉积中，激发气体，使其产生低温等离子体，增强反应物质的化学活性，从而进行外延的一种方法。