2019年中国等离子体控制技术行业报告

等离子体控制技术是指控制等离子体电流、形状、位置及密度的相关技术。目前低温等离子体是当前主流等离子体应用类型，可应用于半导体、危废处理、医疗等领域。等离子体控制技术是半导体制造中的核心技术，其在半导体制造工艺中的应用在所有应用中的占比达90%以上。等离子体控制技术应用设备市场与半导体设备市场具有高度相关性，因此等离子体控制技术行业的整体发展与半导体设备行业息息相关。未来5-10年内，中国半导体行业下游终端需求将加速释放，半导体设备市场规模有望进一步扩大，进而刺激等离子体控制技术应用设备渗透率持续提升。