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2019年中国高性能靶材行业概览
2019年中国高性能靶材行业概览

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发布时间

2019-9-12 08:00

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性能指标 要求
纯度 1.靶材纯度越高,薄膜性能越好
2.靶材纯度至少要高于99.95%
3.如靶材中杂质过多,留在晶圆表面的微粒会导致互连线短路或断路
致密度 1.高溅射靶材相对密度应该在98%以上
2.高致密度靶材导电性能良好、强度高、电阻率低,成膜速率高,膜不易开裂、使用寿命长
晶粒尺寸及尺寸分布 1.溅射靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级
2.细小尺寸晶粒靶的溅射速率要比粗晶粒快
3.晶粒尺寸相差较小的靶,淀积薄膜的厚度分布也较均匀,镀膜质量稳定
结晶取向 1.靶材的结晶方向影响溅射膜层的厚度均匀性
2.为达到最高测射速率,常通过改变靶材结晶结构的方法去来增加溅射速率
3.获得一定结晶取向的靶材对薄膜的溅射过程至关重要  
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头豹研究院编辑整理

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