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应用领域 | 主要技术参数 | 封装形式 | 技术特点 | 应用具体工艺环节 | |
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X射线源焦点(μm) | 电压及输出功率 | ||||
集成电路 | 0.1-15 | 输出管电压<160KV 输出功率<80W | 封闭管/开放管 | 射线源的焦点尺寸非常小,可以实现纳米级别精度检测,绝大多数集成电路检测设备使用开放管射线源,实现高精度检测,但维护成本较高 | 晶圆切割检测、集成电路封装检测等 |
电子制造 | 1-80 | 输出电管电压S300KV 输出功率<500W | 封闭管/开放管 | 两种封装形式的射线源焦点尺寸均较小,检测精度高射线源FOD小,可实现高几何放大倍率的检测 | PCBA焊接质量检测、SMT质量检测、汽车电子配件X射线检测 |
新能源电池 | 5-80 | 输出管电压<150KV 输出功率<75W | 封闭管 | 射线源焦点尺寸小,检测精度高,绝大多数检测场景是在线式检测3C类电池所需射线源管电压90-110kV,动力类电池所需射线源管电压130-150kV | 动力类电池X射线检测、3C类电池X射线检测设备、储能电池检测等 |
铸件焊件及材料 | 400-1,000 | 输出管电压<450KV 输出功率S4,500W | 封闭管/开放管 | 电压高,可穿透高密度检测物,绝大多数金属铸件使用的封闭管射线源焦点尺寸大,无法进行精密检测,开放管射线源可在高电压下实现高精度检测,但维护成本较高 | 铸件X射线检测、焊件X射线检测、材料X射线检测 |
公共安全 | 1,000-5,000 | 输出管电压<450KV 输出功率<4,500W | 封闭管 | 电压高,穿透力强;需长时间连续出束;焦点尺寸大,无法进行精密检测 | 快递物流安检,地铁、客运站、机场安检,高速公路、公安检查站、等场景的整车检测 |
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