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中国厂商 | 设备类型 | 0.5-0.13μm | 90nm | 55/65nm | 40nm | 28nm | 14nm | 10nm | 7nm | 5nm | 3nm |
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北方华创 | 刻蚀设备 | √ | 在研 | ||||||||
PVD设备 | √ | 验证中 | |||||||||
清洗设备 | √ | ||||||||||
热处理设备 | √ | ||||||||||
中微公司 | 刻蚀设备 | √ | 可量产应用 | ||||||||
拓荆科技 | CVD设备 | √ | 验证中 | ||||||||
盛美上海 | 清洗设备 | √ | |||||||||
至纯科技 | √ | 验证中 | |||||||||
上海微电子 | 光刻机 | √ | |||||||||
屹唐半导体 | 刻蚀设备 | √ | 验证中 | ||||||||
去胶设备 | √ | 验证中 |
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