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应用设备 | 技术名称 | 技术先进性 |
---|---|---|
前道涂胶显影设备 | 光刻工艺胶膜均匀涂敷技术 | 28nm及以上技术节点,达到国际先进水平 |
精细化显影技术 | 28nm及以上技术节点,达到国际先进水平 | |
高产能设备架构及机械手优化调度技术 | 第三代高产能架构已达到国际先进水平 | |
内部微环境精确控制技术 | 28nm及以上节点,公司颗粒控制指标达到国际先进水平 | |
光刻机联机调度技术 | 达到与全球主流光刻机In line联机量产能力 | |
超高温度与超高精度烘烤固化技术 | 28nm及以上技术节点,达到国际先进水平 | |
自动光学缺陷检测技术 | 28nm及以上技术节点,通过客户验证,达到量产运用能力 | |
后道及小尺寸领域涂胶显影设备 | 机台架构、传送调度、工艺控制等技术 | 整体已达到国际先进水平,部分指标已达到国际领先水平 |
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