在溅射过程中,被高速度能的离子束流轰击的固体称为溅射靶材。溅射靶材主要由靶坯和背板(或背管)构成,靶坯是溅射靶材中的核心部分,是溅射镀膜过程中高速粒子束流轰击的目标材料,靶坯被离子撞击后,表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板表面形成薄膜;背板主要起到固定支撑靶材的作用,由于溅射靶材需安装在专用的溅射镀膜设备内完成溅射过程,设备内部为高电压、高真空环境,多数靶坯的材质较软、脆性高、导电导热性较差,不适合直接安装在设备内使用,因此,靶坯需与背板绑定,且背板需要具备良好的导电、导热性能。作为各类薄膜工业化制备的关键材料,溅射靶材广泛应用于平面显示、半导体集成电路、新能源电池和太阳能电池、消费电子、光伏、工业控制、汽车电子等领域。