摘要

溅射靶材主要由靶坯和背板（或背管）构成，靶坯是溅射靶材中的核心部分，背板主要起到固定支撑靶材的作用，作为各类薄膜工业化制备的关键材料，溅射靶材广泛应用于平面显示、半导体集成电路、太阳能电池等领域。溅射靶材生产制造涉及多门专业学科，融合多个专业领域的技术，生产工艺流程复杂，工序环节众多，由于溅射靶材加工生产技术难度较高，外资企业凭借技术、产能、品牌等优势占据了中国高性能溅射靶材市场大部分的市场份额，受益于国家战略支持和下游应用推广，中国溅射靶材企业经过数年的科技攻关，已逐渐突破关键技术门槛，成功开发出一批能适应高端应用领域的溅射靶材，拥有了部分产品的规模化生产能力。近年来，随着中国平面显示和半导体集成电路产业迅速发展，下游产业逐步向国内转移，推动了中国溅射靶材行业的快速发展，中国溅射靶材市场规模由2018年的207亿元增长至2022年的305.4亿元，未来随着新型显示技术的不断突破和平面显示终端应用的持续拓展，以及太阳能电池的大幅应用及推广，预计中国溅射靶材市场将保持持续增长，2027年市场规模有望达580.6亿元。