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2021年碳中和产业白皮书:碳中和宏观与细分投资赛道深度分析
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工艺流程 所需设备 国产设备进展 代表厂商 各设备成本占比(%)
清洗制绒 清洗设备 国产化 捷佳伟创、YAC 7.3%
制绒设备 国产化 4.2%
前扩散硼 扩散炉 已进入 北方华创、捷佳伟创 32.6%
刻蚀 刻蚀设备 国产化 迈为股份、理想能源 3.1%
背面氧化 LPCVD 开始进入 迈为股份、捷佳伟创 9.1%
沉积多晶硅 LPCVD 开始进入
离子注入磷 离子注入机 已进入 北方华创、捷佳伟创 6.1%
正面钝化 ALD 开始进入 迈为股份、捷佳伟创 5.1%
正面镀膜 PECVD 国产化 迈为股份、捷佳伟创 17.3%
背面镀膜 PECVD 国产化
丝网印刷与烧结 丝网印刷设备、烧结炉 国产化 迈为股份、捷佳伟创 15.2%
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