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晶圆切割类划片机
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陈志煌
陈志煌·头豹分析师
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行业定义
划片机是使用刀片或通过激光等方式高精度切割被加工物的装置,随着集成电路沿大规模方向发展,划片工艺呈现愈发精细化、高效化的趋势。目前划片机广泛用于半导体封测、EMC导线架、陶瓷薄板、PCB、蓝宝石玻璃等材料的精密切割领域。半导体晶圆划片机是半导体后道封测中晶圆切割和WLP切割环节的关键设备,是将含有很多芯片的晶圆按不等的间隙分割成晶片颗粒,其切割的质量与效率直接影响到芯片的质量和生产成本。
AI访谈
行业分类
半导体晶圆划片机主要包括砂轮划片机和激光划片机,其中刀片切割(砂轮)为主流切割工艺。砂轮划片机是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。
AI访谈
行业特征
金刚石切割作为切割的主流技术。切割采用金刚石颗粒和粘结剂组成的刀片。切削过程中,金刚石颗粒以金属镍作为磨料颗粒固定在工具体上。刀片以一定的速度旋转和进给,并使用水作为切削液。因此影响晶圆切割质量的因素很多,包括材料、切割仪器、工作环境、切割方法等因素,但对于仪器的要求正在不断严格。
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发展历程

晶圆切割类划片机行业

目前已达到 5个阶段
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产业链分析
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行业规模
晶圆切割类划片机行业规模
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政策梳理
晶圆切割类划片机行业
相关政策 3篇
AI访谈
竞争格局
全球划片机市场被海外厂商DISCO和东京精密高度垄断,国产厂商份额极低。目前日本Disco垄断了全球 70%以上的封装关键设备减薄机和划片机市场,东京精密ACCRETECH 次之,划片机国产化率仅5%左右,国内主要企业有光力科技、中电科45所、江苏京创、沈阳和研 以及深圳华腾,其中多数产品仅用于切割LED、分立器件,用于切割集成电路的12寸划片机正于近些年逐步实现国产化。
AI访谈数据图表
摘要
划片机是使用刀片或通过激光等方式高精度切割被加工物的装置,随着集成电路沿大规模方向发展,划片工艺呈现愈发精细化、高效化的趋势。目前划片机广泛用于半导体封测、EMC导线架、陶瓷薄板、PCB、蓝宝石玻璃等材料的精密切割领域。根据SEMI数据,2021年全球封装设备市场规模为69.9亿美元,2015-2021年的复合增长率达18%,预计2022年将继续增长至72.9亿美元,对应2022年 划片机的市场空间约为20.4亿美元,我国封装环节较为成熟,行业市场约占全球四分之一,预计2022年半导体划片机市场空间在32-36亿人民币。各主要细分环节半导体设备国产化率依旧较低。当前国内半导体设备企业与海外龙头在规模上差距依旧较大,半导体设备国产化率较低,尤其在前道光刻、前道测试、过程控制领域,国产替代进程依然任重道远。
中国晶圆切割类划片机行业定义
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晶圆切割类划片机是一种用于将晶圆切割成一定大小的切片的机器设备,通常用于半导体、太阳能等领域。 在行业中,晶圆切割类划片机的定义主要有两种:一种是基于尺寸的定义,一种是基于工艺的定义。 基于尺寸的定义是指,晶圆切割类划片机的最大切割尺寸和最小切割尺寸,以及切割精度等方面来界定。这种定义主要关注的是切割机的技术性能和工艺水平,以及在实际应用中的使用效果和可靠性等方面。 而基于工艺的定义则是指,晶圆切割类划片机所涉及的切割工艺流程、切割工艺参数以及切割后的产品质量等方面来界定。这种定义主要关注的是切割机的应用范围和行业应用,以及在实际生产中的效率和经济性等方面。 这两种定义之间的区别和差异在于,基于尺寸的定义更注重切割机的技术性能和工艺水平,而基于工艺的定义更注重切割机在实际应用中的效果和可靠性。同时,基于工艺的定义更关注切割机的应用领域和行业应用,以及在实际生产中的效率和经济性等方面。因此,在选择切割机时,应该综合考虑这两种定义来选择最适合自己的切割机。
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划片机是使用刀片或通过激光等方式高精度切割被加工物的装置,随着集成电路沿大规模方向发展,划片工艺呈现愈发精细化、高效化的趋势。目前划片机广泛用于半导体封测、EMC导线架、陶瓷薄板、PCB、蓝宝石玻璃等材料的精密切割领域。半导体晶圆划片机是半导体后道封测中晶圆切割和WLP切割环节的关键设备,是将含有很多芯片的晶圆按不等的间隙分割成晶片颗粒,其切割的质量与效率直接影响到芯片的质量和生产成本。
[1]
1:https://www.aisoutu.com/a/2228128
2:1.半导体晶圆划片设备行业研究 2.头豹研究院分析师观点
1.半导体晶圆划片设备行业研究 2.头豹研究院分析师观点
中国晶圆切割类划片机行业分类
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晶圆切割类划片机行业可以根据其切割方式和应用领域进行分类。 1. 切割方式分类 (1) 离线式划片机 离线式划片机是将晶圆从生产线中取出,进行切割后再放回生产线的设备。该设备具有高精度、高效率、高可靠性等特点,可以满足对产品质量要求较高的生产需求。但是,由于需要将晶圆从生产线中拿出,因此生产效率相对较低。 (2) 在线式划片机 在线式划片机是在晶圆生产线上直接进行切割的设备。该设备具有高生产效率、自动化程度高等特点,可以满足对生产效率要求较高的生产需求。但是,由于需要在生产线上进行切割,因此对设备的稳定性和精度要求较高。 2. 应用领域分类 (1) 半导体领域 半导体领域是划片机应用的主要领域之一。在半导体领域中,切割出来的晶圆片用于制造集成电路、光电器件、太阳能电池等产品。半导体领域对于切割的精度要求非常高,因此切割机的精度和稳定性是关键因素。 (2) 光电领域 光电领域是划片机应用的另一个重要领域。在光电领域中,切割出来的晶圆片用于制造LED、OLED等光电器件。光电领域对于切割的效率要求较高,因此切割机的生产效率和自动化程度是关键因素。 (3) 其他领域 除了半导体和光电领域,划片机还被广泛应用于陶瓷、玻璃、石英等材料的切割。这些材料对于切割的要求不同,因此需要不同种类的划片机。 总体而言,晶圆切割类划片机行业根据其切割方式和应用领域进行分类,离线式和在线式是切割方式的分类,半导体、光电和其他领域是应用领域的分类。各分类具有不同的特点和差异,根据不同的生产需求和材料要求选择合适的划片机是非常重要的。
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半导体晶圆划片机主要包括砂轮划片机和激光划片机,其中刀片切割(砂轮)为主流切割工艺。砂轮划片机是综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。激光划片机是利用高能激光束照射在工件表面,使被照射区域局部熔化、气化、从而达到划片的目的。
晶圆切割类划片机分类
砂轮划片机
综合了水气电、空气静压高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备,其特点为切割成本低、效率高,适用较厚晶圆的切割。
激光划片机
利用高能激光束照射工件表面,使被照射区域局部熔化、气化,从而达到划片目的,其特点为切割精度高、切割速度快,适用于较薄晶圆的切割。
[2]
1:https://robo.datayes.com/v2/details/report/4748276?tab=original
2:间接引用
[3]
1:https://www.aisoutu.com/a/2228128
2:1.半导体晶圆划片设备行业研究 2.头豹研究院分析师观点
1.半导体晶圆划片设备行业研究 2.头豹研究院分析师观点
中国晶圆切割类划片机行业特征
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中国晶圆切割类划片机行业特征分析 晶圆切割类划片机以其高效、精准的特点,广泛应用于半导体、光电子等领域,是制造这些产品的重要工具。本文从商业模式、竞争环境、利润成本三个维度分析中国晶圆切割类划片机行业特征。 一、商业模式 晶圆切割类划片机行业商业模式主要分为两种:自主研发制造和代理销售。自主研发制造的企业包括中芯国际、华灿光电、国星光电等,他们具有完整的研发、制造、销售和售后服务能力,产品品质较高,价格也相对较高。代理销售的企业包括ASML、日立高科、东京精密等,他们在研发和制造方面并不占优势,主要通过代理销售国外品牌的产品来赚取利润。这两种商业模式各有优劣,自主研发制造企业在品质和技术方面有优势,但需要投入大量的研发资金和人力资源,成本较高;代理销售企业则无需投入大量研发费用,但对技术的掌握程度较低,产品品质相对较差。 二、竞争环境 晶圆切割类划片机行业竞争环境激烈,国内外企业均在此领域展开竞争。国际上,ASML、日立高科、东京精密等企业占据主导地位,产品技术领先,品质稳定,价格相对较高。国内方面,中芯国际、华灿光电、国星光电等企业具有较强的自主研发能力,产品性价比较高,但技术还存在一定差距。此外,还有一些小型企业在市场上打价格战,但他们在技术研发、品质控制等方面相对较弱。 三、利润成本 晶圆切割类划片机行业的成本主要包括研发、制造、销售和售后服务等方面。其中研发是最为重要的一环,需要投入大量资金和人力资源,占据整个成本的较大比例。制造方面,设备的制造工艺比较复杂,需要高精度加工设备,成本较高。销售方面,需要大量的销售人员和营销费用,但相对于研发和制造而言,销售成本较低。售后服务方面,需要投入大量的人力资源和物资成本,但对于提升客户满意度和产品品牌形象具有重要作用。 结论 综上所述,晶圆切割类划片机行业商业模式多种,自主研发制造企业和代理销售企业各具有优劣。竞争环境激烈,国内外企业均在此领域展开竞争,国际大型企业具有较强的技术实力和品质稳定性,但价格相
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金刚石切割作为切割的主流技术。切割采用金刚石颗粒和粘结剂组成的刀片。切削过程中,金刚石颗粒以金属镍作为磨料颗粒固定在工具体上。刀片以一定的速度旋转和进给,并使用水作为切削液。因此影响晶圆切割质量的因素很多,包括材料、切割仪器、工作环境、切割方法等因素,但对于仪器的要求正在不断严格。
1
高精度
随着集成电路超大规模化的发展趋势,器件的设计原则开始追求微细化,在提高元件工作速度的同时,减小芯片的面积,其对划片机的工艺要求越发精细化。
目前晶圆的线宽已经发展到5μm以下,甚至达到1μm左右,晶圆上集成电路的排布愈发密集,对于切割精度的要求大大提升。
2
高效率
随着器件发展的规模化趋势,切割元件的工作速度需要提升。
当前激光切割技术不断向高功率、高精度的方向发展,新型全自动激光划片机陆续被制造,对于切割效率和切割精度都能兼顾,未来有望持续发展。
3
高功率
切割机器的功率对于良好的切割质量有着很重要的影响。
由于不同机器的切割功率不同,需要选择不同的切割台。从切割方式来看,主要涉及切割深度、刀片转速和进给速度。适当的参数对于获得良好的切削质量非常重要。其他因素,如机器操作技能,也会影响晶圆切割质量。
[4]
1:https://www.sohu.com/a/565468806_120498874
2:间接引用
词条作者链
陈志煌·头豹分析师
2022-11-30
修改“晶圆切割类划片机”词条报告
陈志煌·头豹分析师
2022-07-24
发布“晶圆切割类划片机”词条报告
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