电子级高纯氢氟酸是关键辅助材料之一。主要用于晶圆表面清洗、芯片加工过程中的清洗和蚀刻等工序。产品主要用于集成电路(IC)和超大规模集成电路(VLSI)制造中,在太阳能光伏行业中,用于硅片表面清洗、蚀剂等领域。硅锭到硅片,再到电池片的第一道工艺程序:清洗制绒环节会用到产品。在液晶显示器行业,用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蚀剂等。在TFT—LCD、半导体产业中也被广泛使用。还可用作分析试剂、原子能工业化学试剂和制备高纯度的含氟化学品。目前,在中国基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业,其他方面用量较少。