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    LED外延片
    是指在LED衬底上利用外延生长法形成半导体发光材料薄膜,进而制成LED外延片。此环节是早期LED生产过程中对生产设备及技术工艺要求最高的环节,目前生产高亮度LED外延片的主流技术是MOCVD,即金属有机化学气相淀积法
    外延片
    在晶片的基础上,经过外延工艺生长出特定单晶薄膜,衬底晶片和外延薄膜合称外延片。如果外延薄膜和衬底的材料相同,称为同质外延;如果外延薄膜和衬底材料不同,称为异质外延
    外延
    在衬底上生长一层新单晶的过程
    外延生长
    指在单晶衬底(基片)上生长一层具有半导体特性且与衬底晶向相同的单晶层。
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